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MD-2000
Y軸テーブル駆動、X軸カメラユニット駆動
装置タイプ: オフライン
特徴: 正確、高効率
アプリケーション: 基板製造プロセスの不良検査対応基板サイズ: 50 mm X 50 mm ~ 330 mm X 250 mm
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対応基板厚: 0.4mm ~ 3.0mm
解像度: 5um ~ 15um
装置サイズ: W625 X D847 X H1300 (mm)
重量: 168KG -
LD-3000
Y軸テーブル駆動、X軸カメラユニット駆動
装置タイプ: オフライン
特徴: LL標準サイズ基板に対応
アプリケーション: 基板製造プロセスの不良検査対応基板サイズ: 50 mm X 50 mm ~ 510 mm X 460 mm
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対応基板厚: 0.6mm ~ 3.0mm
解像度: 5um ~ 15um
装置サイズ: W900 X D1200 X H1396 (mm)
重量: 380KG -
XD-2000
Y軸テーブル駆動、X軸カメラユニット駆動
装置タイプ: オフライン
特徴: XLサイズ基板対応
アプリケーション: 基板製造プロセスの不良検査対応基板サイズ: 50 mm X 100 mm ~ 650 mm X 550 mm
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対応基板厚: 0.6mm ~ 3.0mm
解像度: 5um ~ 15um
装置サイズ: W1115 X D1450 X H1216 (mm)
重量: 400KG