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Edge
装置タイプ: インライン3D外観検査装置
特徴: 2D検査と3D検査の複合検査
対応基板サイズ: 50 mm X 50 mm ~ 510 mm X 460 mm
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対応基板厚: 0.6mm ~ 6.0mm
解像度: 5um ~ 15um
装置サイズ: W1000 X D1300 X H1800 (mm)
重量: 770 KG -
LI-6000
LI-6000 新ヴィジョンシステム
XY軸カメラ駆動システム
自動レール幅調整機能
装置タイプ: インライン
特徴: LLサイズ基板対応、リフロー前、リフロー後の両工程に対応
アプリケーション: 基板製造プロセスの不良検査対応基板サイズ: 50 mm X 70 mm ~ 510 mm X 460 mm
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対応基板厚: 0.6mm ~ 6.0mm
解像度: 5um ~ 15um
装置サイズ: W1000 X D1170 X H1800 (mm)
重量: 734 KG -
LI-6000D
LI-6000D 新ヴィジョンシステム
XY軸カメラ駆動システム
自動レール幅調整機能
装置タイプ: インライン
特徴: デュアルレールシステム
アプリケーション: 基板製造プロセスの不良検査対応基板サイズ:
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シングルレール: 50mmX70mm ~ 535mmX590mm
デュアルレール: 50mmX70mm ~ 535mmX330mm
対応基板厚: 0.6mm ~ 6.0mm
解像度: 5um ~ 15um
装置サイズ: W1080 X D1390 X H1840 (mm)
重量: 945KG