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  • Edge

    装置タイプ: インライン3D外観検査装置

    特徴: 2D検査と3D検査の複合検査

    対応基板サイズ: 50 mm X 50 mm ~ 510 mm X 460 mm
    対応基板厚: 0.6mm ~ 6.0mm
    解像度: 5um ~ 15um
    装置サイズ: W1000 X D1300 X H1800 (mm)
    重量: 770 KG

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  • LI-6000

    LI-6000 新ヴィジョンシステム

    XY軸カメラ駆動システム
    自動レール幅調整機能
    装置タイプ: インライン
    特徴: LLサイズ基板対応、リフロー前、リフロー後の両工程に対応
    アプリケーション: 基板製造プロセスの不良検査

    対応基板サイズ: 50 mm X 70 mm ~ 510 mm X 460 mm
    対応基板厚: 0.6mm ~ 6.0mm
    解像度: 5um ~ 15um
    装置サイズ: W1000 X D1170 X H1800 (mm)
    重量: 734 KG

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  • LI-6000D

    LI-6000D 新ヴィジョンシステム

    XY軸カメラ駆動システム
    自動レール幅調整機能
    装置タイプ: インライン
    特徴: デュアルレールシステム
    アプリケーション: 基板製造プロセスの不良検査

    対応基板サイズ:
    シングルレール: 50mmX70mm ~ 535mmX590mm
    デュアルレール: 50mmX70mm ~ 535mmX330mm
    対応基板厚: 0.6mm ~ 6.0mm
    解像度: 5um ~ 15um
    装置サイズ: W1080 X D1390 X H1840 (mm)
    重量: 945KG

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